1. High Accuracy
SB 시리즈 디스펜서는 포토레지스트 등의 약액을 정밀하게 계량/이송합니다. 샷당 유량이 매우 정확하여 최적의 포토레지스트 양이 도포되도록 보장합니다.
옵션인 Suckback을 사용하면 주입 노즐에서 떨어지는 것을 방지할 수 있습니다.
벨로우즈에는 Dead Volume이 거의 없으며 용액 정체 가능성이 최소화됩니다.
씰이 없고 초저속 실린더 설계를 통해 Air가 갇힐 가능성을 줄이면서 저속 포토레지스트 주입이 가능합니다.
2. Stainless/Fluorine 접액부
스테인레스(SUS304) 및 불소(PTFE/PFA) 접액부는 다양한 액체에 사용할 수 있으며 우수한 내식성과 오염 없는 이송을 보장합니다.
고해상도/고순도 포토레지스트 이송에 가장 적합합니다.
3. Light/Compact 설계
펌프는 수직 및 수평 방향 모두 장착이 가능합니다.(SB-4K/-5/-6 제외)
최적의 시스템 구성이 가능하며, 제한된 설치 공간에도 장착할 수 있을 정도로 컴팩트합니다.
또한, 도징량을 미세하게 조정하는 기계식 스토퍼와 실린더 내에서 올바른 피스톤 이동을 보장하는 위치 감지기를 옵션으로 사용할 수 있습니다.
