1.에너지 절약형 설계
고 토르크 스테핑 모터를 구동원으로 사용하고 있기 때문에 필터의 막힘이나 점도 변화 등에 의해 토출 부하가 늘어나도 토출량의 감소가 거의 없습니다.
따라서, 도포량의 설정은 필요 최소한이므로 레지스트액의 사용량을 대폭 삭감할 수 있습니다.
2.오염 발생이 없는 설계
펌프부는 내면이 평평하고 미끄러우며, 데드 볼륨이 적은 튜브 프레임 구조. 레지스트액의 체류부가 거의 없고, 파티클의 발생을 방지합니다.
3.다양한 코팅 프로세스에 대응
토출 속도를 1 샷 내로 임의로 변경할 수 있기 때문에 미량?단시간 도포 등, 다양한 레지스트 코팅 프로세스에 대응합니다.
4.펌프 컨트롤러 PDS-210(옵션)
고기능형 컨트롤러. 1대로 3대의 PDS 펌프를 제어할 수 있습니다.
외부 신호에 의해 설정한 시간만큼 펌프의 작동 신호를 출력합니다.
㈜ 옵션은 상기 외에 드라이버/프로그램 가능한 컨트롤러/펄스 컨트롤러/오토 에어 배출 유닛 등이 있습니다.
자세한 것은 문의 바랍니다.
