1. 웨이퍼 세정액 농도 조절에 적합
필요한 최소량의 약품을 정확하게 토출하며, 웨이퍼 세정액의 농도 조절에 이상적입니다.
펌프는 농도 오버슈팅을 방지하고 솔루션 비용 절감에 기여합니다.
2. 우수한 내화학성
모든 접액부는 불소수지(PTFE, PFA, PCTFE)로 만들어졌으며 강산, 강알칼리 및 과산화수소와 같은 화학 물질과 호환됩니다. 펌프의 외부 부품은 코팅된 볼트가 있는 플라스틱으로 만들어졌습니다.
3. 안전설계
펌프는 압축 공기로 안전하게 구동되는 공압 구동 벨로우즈 펌프입니다. 사이폰 방지 메커니즘으로 약품의 유출을 방지합니다. CFD-1T-B에는 벨로우즈 손상을 감지하는 누출 센서가 기본 장착되어 있습니다.
4. 넓은 토출량 범위
토출량은 광범위하며 유연하게 조정될 수 있습니다. 공장 기본 설정은 다음과 같습니다. CFD-1T-B: 1mL/shot, CFD-8T-8: 8mL/shot
